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    幾種常見真空紫外以及軟X-ray 光譜儀的光學設計

    更新更新時間:2019-06-28 點擊次數:2977

         由于真空紫外及軟X-RAY 與可見光及紅外波段在很多光學傳輸性質上的不同,比如,需要真空環境,很低的反射率,無合適的“透明”折射率材料,成像困難,與物質相互作用時,表現出高能粒子的特性,少有衍射 等等。 由于其以上的種種特性,在其光譜儀的設計上,一般需要遵循盡量減少光路中的反射元件,以及采取掠入射等原則。  
    以下介紹幾種常見真空紫外以及軟X-ray 光譜儀的光學設計:
     
    1、C-T 式:Czerny Turner
     使用大量的平面光柵與分離聚焦和準直鏡,是常用的一種結構。通過光柵旋轉實現了線性波長定位。旋轉點與光柵表面重合。聚焦和準直光學可以是球形、橢圓形、環形或拋物線形,這取決于儀器的要求。這種設計提供了一個CCD探測器平面焦平面。許多用于UV- VIS – IR和真空UV的儀器都采用了這種設計。

    主要特點
    · 由兩塊凹面鏡完成成像,
    · 平面光柵完成衍射
    · 可掃描 
    · 可成像,像差小
    · 可裝配多個光柵
    · l>100nm 到中遠紅外
     
    為探測更低的波段,可以在此基礎上,采用掠入射的C-T 結構,使得光譜探測范圍低到8nm:
     
    · 基于傳統C-T結構
    · 掠入射: >80度入射角
    · 采用平面光柵
    · 良好點到點成像效果
    · 高通光量
    · 單點掃描或CCD成像探測
    · 光譜范圍: 8-120nm
     
    2、交叉C-T式 :Criss Cross C-T
    十字交叉C-T光路使入射角小化。這通過減少像差提高了光學性能。Czerny-Turner的交叉光路,在真空或氮氣吹掃下,可以工作在從105nm一直延伸到LWIR。


    3、正入射單色儀: Normal Incidence monochromators
    正入射單色儀使用凹面光柵來分散和聚焦光。由于減少了光學表面,它們的工作波長可短至30nm。“McPherson 15°”是使用此設計的一個設備;波長驅動器可以旋轉和聚焦光柵,以獲得高光譜分辨率。該儀器適用于CCD和微通道板(MCP)增強探測器。這些設計幾乎都是專為真空紫外線波段而設計;

    · 具備理想的成像效果,
    · 適合搭配CCD 等探測器使用,
    · 可以水平色散或者垂直方面色散使用。
    · 焦距: 1m,3m, 6.65m
    · 波長范圍: 30-1200nm

    4、 Seya-Namioka 設計: 
    此設計專為真空紫外設計,在入口和出口縫隙之間使用了70°15'的角度。采用凹面、球面、羅蘭圓光柵。經過改進的光柵可以提高分辨率。這些設計主要用于實驗需要在105nm以下工作,并且需要在狹縫之間有很大的空間來容納實驗室、光源或檢測器的情況。
     
    5、 改進型Seya-Namioka 設計:Modified Seya-Namioka
    改進的Seya-Namioka 設計或校正全息設計使用了校正凹面全息光柵,該光柵設計減少了散射光,提高了光譜分辨率。我們的234/302光譜儀就是用這種結構,一個緊湊,快速的光學系統,具有良好的分辨率和通光量,可以覆蓋從30nm到可見區域;
     
    · 入射和出射狹縫固定,夾角基本固定不變:70度左右;
    · 單塊凹面光柵完成成像和衍射
    · 通過轉動光柵的方式實現波長掃描。
    · 工作波長范圍:30nm 到可見及近紅外波段
    · 像差修正--Modified Seya-Nomioka 結構

    6、掠入射羅蘭圓結構 Rowland Circle Grazing Incidence
    掠入射儀器的工作范圍為~1 ~ >100nm。一條狹縫穿過羅蘭圓,CCD探測器安裝在垂直于出口射線的位置,微通道板增強器與圓相切,可以沿圓掃描以截取感興趣的區域。光也源可以安裝在用于校準系統的掃描狹縫處,作為單色可調光源系統;
     
    · 主要原理基于羅蘭圓
    · 入射狹縫固定不動,
    · 出射狹縫沿羅蘭圓圓周進行掃描采集光譜
    · 掠入射入射角大于80度
    · 光譜范圍: <1nm—310nm
     
    7、平場校準光譜儀 Flat Field Aberration Corrected
    平場校準光譜儀依賴于*形狀的光柵基板或像差校正槽的設計和間距。如果感興趣的波長和范圍都是已知且固定不變的,那這種結構就非常有用。其探測范圍有限,且儀器結構非常簡單。由于對光柵的要求,現有的設計很少,而且造價昂貴。它們也是收集低分辨率紫外光譜的有效方法。
    · VLS(Variable Line Spacing),可變間距光柵
    · 獲得平場焦平面;
    · 良好的像差修正
    · 超環面基地VLS光柵-像散修正;
    · 光譜范圍: 1-20nm 或10-170nm
     
        美國McPherson有限公司是一家專業的光譜儀生產廠商,公司位于波士頓西北部的Chelmsford。在McPherson所有的產品中,除去傳統光譜儀以及高分辨率光譜儀之外,富盛名的就是其真空紫外及軟X-ray光譜儀了,特別是此類產品在*同步加速器以及核聚變研究方面的應用,已經成了光譜測試領域的傳奇。在這些光譜儀中,包括所有上述比較常見多種結構設計,比如Seya-Namioka設計,平場光柵光譜儀以及掠入射光柵光譜儀等,波長范圍可以覆蓋從0.5nm一直到近紅外波段,適合于不同應用的場合。

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